VTC-16-SM

• Настольная установка магнетронного напыления постоянным током высокой мощности с водяным охлаждением 2“ оголовка мишени, водяным чилером и вращающимся держателем образцов
• Назначение: магнетронное напыление металлических покрытий, включая Zn, Al, Ti и тонкие углеродные слои
• Подложки: пластины диаметром до 4″
• Подложкодержатель ø 4″ с регулируемой высотой от 60 до 100 мм между образцом и мишенью
• Один вращающийся со скоростью от 0 до 5 об/мин 50-мм держатель из нержавеющей стали напыления с управляемым вручную затвором для защиты мишени
• Напряжение на источнике постоянного тока системы напыления — 1600В; сила тока – до 150 мА; мощность — до 250 Вт; предусмотрена встроенная система защиты от превышения силы тока
• Процессная камера из кварца размерами: ø 167 мм х 260 мм
• Опционно: нагреватель подложкодержателя до температуры 500°С
• 6″-цветный сенсорный экран с программируемым логическим контроллером для автоматического управления параметрами процесса: уровень вакуума, уровень тока напыления и т.д.
• Установка укомплектована водяным воздухоохлаждаемым чилером производительностью 10 л/мин при максимальном давлении 1бар
• Установка укомплектована специальным фланцем для присоединения вакуумного насоса
• Опционно: двухступенчатый вакуумный центробежный лопастной насос производительностью 8/9,6 м³/ч (220В, 50/60Гц, 1ф, 0,4/0,37кВт), обеспечивающий вакуум менее 1 х 10^-2 торр, при использовании мишеней Au, Ag, Pt, Cu, Mo (не чувствительных к воздуху); компактный турбовакуумный насос производительностью 0,9/1,0 м³/ч (220В, 50/60Гц, 1ф), обеспечивающий вакуум менее 1 х 10^-5 торр, при использовании мишеней Al, Mg, Li, Ti, Zn (чувствительных к воздуху)
• Игольчатый вентиль для корректировки расхода аргона (газовый баллон аргона с регулятором давления в поставку не входит)
• Опционно: расходомер подачи газа и измеритель толщины пленки
• Ручная загрузка-выгрузка подложек
• Мишени: в состав установки входит 1 мишень из меди ø2″ х 2,5 мм. Опционно: мишени из Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg
• Электропитание: 220В, 50/60Гц, 1ф
• Габариты: 440 x 330 x 290 мм (без чилера), 45″ x 45″ x 40″ (общие, в упаковке)
• Вес: 20 кг (без чилера), 72,6 кг (общий, в упаковке)

к списку