FHR MS120-FLA

• Модуль ультракороткого импульсного отжига в условиях вакуума или в среде рабочего газа для кластерной установки
• Размер подложек: пластины диаметром до 120 мм, с использованием адаптера: 4”, 3”, 2”, а также подложки прямоугольной или иной формы
• Подложкодержатель: хромоникелевая кассета с кварцевыми фиксаторами
• Роботизированное устройство перемещения пластин
• Количество импульсных ламп: 15 шт. со специальным рефлектором
• Длительность импульса лампового отжига: 10 мсек, 6 мсек, 3 мсек, 1,6 мсек
• Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
• Энергетическая плотность потока: до 30 Дж/см²
• Электрическая мощность (20 мсек): 3,1 МВт
• Блок предподогрева электрической мощностью 12 кВт обеспечивает температурный диапазон до 800°C, однородность температуры по поверхности подложки 1,5%, максимальную скорость нагрева 50 К/сек; точность поддержания температуры ±1% контролируется пирометром при компьютерном управлении процессом
• Инертный газ: аргон (Ar), через регулятор массового расхода
• Рабочее давление: от 1 х 10^-5 мбар до 2,5 х 10^-1 мбар
• Габариты: 1500 х 880 х 810 мм (без конденсаторного блока)

к списку