FHR.Micro.160-FLA

• Лабораторная установка ультракороткого импульсного отжига в условиях вакуума или в среде рабочего газа для полупроводникового производства, оптики, МЭМС
• Применение: восстановление поверхности, отжиг пластиков (низкотемпературных материалов), сушка фотолаков и пленочных покрытий, уплотнение пленочных покрытий, изменение параметров пленок
• Подложкодержатель с фиксаторами для подложек диаметром до 100 мм (опционно – 250 мм)
• Количество импульсных ламп: 8 шт.
• Количество ламповых цепей: 4 шт.
• Длительность импульса лампового отжига от 0,8 до 20 мсек (в зависимости от конденсаторных блоков)
• Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
• 4 конденсаторных блока
• Энергетическая плотность потока: до 80 Дж/см²
• Электрическая мощность (20 мсек): 2,5 МВт
• Система предподогрева: нагрев подложки до 800°C
• Максимальная температура поверхности: до 1500°C
• Управление процессом в ручном режиме
• Рабочая камера из алюминия

к списку