FHR FLA 100

• Установка импульсного отжига в условиях вакуума и среде рабочего газа с максимальной температурой процесса до 2000°C
• Размер подложек: пластины диаметром 4”, с использованием адаптера — 3”, 2”, а также подложки прямоугольной (20 х 30 мм, толщиной до 1 мм) или иной формы
• Подложкодержатель: кварцевая шайба с кварцевыми фиксаторами
• Горизонтальное перемещение подложкодержателя с использованием носителя с магнитным приводом
• Количество импульсных ламп: 8 шт со специальным рефлектором
• Длительность импульса лампового отжига: 20 мсек, 10 мсек, 3 мсек, 0,8 мсек
• Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
• Энергетическая плотность потока: до 120 Дж/см²
• Электрическая мощность (20 мсек): 10 МВт
• Максимально достижимая температура: до 2000°C
• Блок предподогрева электрической мощностью 20 кВт обеспечивает температурный диапазон 700÷1100°C, однородность температуры по поверхности подложки 1,5%, максимальную скорость нагрева 100 К/сек (температура до 700°C); точность поддержания температуры ±1% контролируется пирометром при компьютерном управлении процессом; время выдержки — 10÷60 сек при 1100°C, 10 сек ÷ 5 мин при 800°C
• Используемые газы: аргон (Ar), азот (N₂), кислород (O2), через регуляторы массового расхода
• Рабочее давление: от 1 х 10^-5 мбар до 2,5 х 10^-1 мбар
• Габариты: 2140 х 960 х 1280 мм (процессный блок), 1700 х 510 х 800 мм (блок энергоснабжения и управления), 1700 х 1600 х 1000 мм (конденсаторный блок)

к списку