KLOE UV-KUB 3

• Установка экспонирования и совмещения
• Предназначена для экспонирования и совмещения с помощью УФ-светодиода с разрешением менее 2мкм, оборудована УФ-светодиодным источником излучения, позволяет совмещать маску размером 5” c пластиной размером до 100 мм в кубическом объеме с длиной одной стороны 47,5 см.
• Разрешение — 2 мкм
• Допустимый размер фотошаблона Ø 2″ или Ø 5″
• Допустимый размер пластин от Ø 2″ до Ø 5″
• Разрешение системы визуализации от 1,5 мкм до 3 мкм
• Разрешение измерения расстояния пластина/фотошаблон 2 мкм
• Разрешение смещения пластины по углу θ 5.10-4°
• Разрешение смещения пластины по осям XYZ от 0,2 мкм до 0,4 мкм
• Доступные длины волн 365 нм, 405 нм
• Мощность излучения на поверхности пластины диаметром 4 дюйма 25 мВт/см²
• Нагрев пластины в процессе облучения < 1 °С
• Циклы инсоляции (непрерывный/прерывистый) от 1 сек до 18 часов
• Количество циклов в памяти более 100
• Размеры 475 х 475 х 475 мм
• Масса 55 кг
• Цветной сенсорный дисплей диагональ 15,6 дюймов
• Максимальная потребляемая мощность180 Вт

к списку