ACCRETECH UF3000EX-e

Измерительная установка – зондовая станция:

  • Электрические измерения в полупроводниковой промышленности.
  • Пластины 8″ или 12″
  • Передача коробления и сверхтонкой пластины с помощью специального механизма передачи. СРМС передача с помощью специального механизма
  • Функция проверки и автоматического выравнивания иглы
  • Общая точность ±1.8 мкм
  • Зона измерений по X-Y осям ± 170мм. Зона измерений по оси Z: 37мм
  • X ось 500мм/сек, Y ось 500мм/сек, Z ось 30мм/сек
  • Диапазон вращения по оси θ составляет ±4°
  • Hard Disk 40GB, Дисплей 15″, Принтер, Джойстик, Датчик перемещения
  • Напряжение 200В, 50/60Гц. Максимальная нагрузка 3 кВА
  • Сжатый воздух до 0,6 – 0,99МПа, расход 0,1 л/пластина
  • Вакуум  -53кПа ～ -100кПа, расход 30 л/мин
  • Габариты 1525 (Ш) х 1622 (Д) × 967 (H) мм (или 1422 H мм с портом загрузки).
  • Вес 1650кг

к списку