ACCRETECH UF190R, ACCRETECH UF200R

Измерительные установки – зондовые станции:

Электрические измерения в полупроводниковой промышленности
UF190R: Пластины 100-200мм, UF200R: Пластины 125-200мм
Передача коробления и сверхтонкой пластины с помощью специального механизма передачи. СРМС передача с помощью специального механизма
Функция проверки и автоматического выравнивания иглы
Общая точность: 10 мкм для UF190R; 4 мкм для UF200R
Зона измерений по X-Y осям ± 120мм
Зона измерений по оси Z: 37мм для UF190R; 69мм для UF200R
X ось 300мм/сек, Y ось 300мм/сек, Z ось 30мм/сек
Диапазон вращения по оси θ составляет ±5°
Hard Disk 20GB, Дисплей 12,1″, Принтер, Джойстик, Датчик перемещения
Напряжение 100В, 50/60Гц. Максимальная нагрузка 1,3 кВА
Сжатый воздух до 0,4МПа, расход 0,1 л/пластина
Вакуум -53кПа, расход 30 л/мин
Габариты 1092 (Ш) х 1115 (Д) × 887 (H) мм.
Вес 800кг

Обратная связь