Установка для обработки отдельной пластины SPIN ETCH

Для некоторых приложений метод обработки в химических реактивах, окунанием в ванне не подходит, так является для этих случаев «грубым». Установка для обработки отдельных пластин предоставляет пользователем проводить очистку и травление для одной пластины с точным позиционированием автоматической руки и насадок с веществами находящихся на ней над образцом.

Такой метод применяется для:

  • контурного травления
  • прецизионного удаления остатков загрязнения
  • прецизионного удаления остатков резиста
  • и т.д.

Компактный напольный корпус и множество вариаций насадок и опций позволят заказчикам получить результаты с высоким качеством и повторяемостью.

Особенности:

  • Высокоточное травление подложек с программным управлением
  • Точное позиционирование руки с распылителями
  • Полностью автоматическое, а также ручное позиционирование руки
  • Для широкого круга приложений (контурное травление, удаление остатков/резиста и т.д.)
  • Гибкие возможности для специальных приложений Заказчика

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.