ULVAC SRH-820 cluster (PVD)

  • Автоматическая кластерная установка физического осаждения из газовой фазы – напыления металлов на обратную сторону пластины для массового производства
  • Назначение: нанесение металлических пленок для силовых устройств, нанесение затравочного слоя электролитического покрытия (WL-CSP), нанесение барьерной металлизации (UBM), другие аналогичные применения
  • Пластины: ø125мм ÷ ø200мм; обработка небольших подложек на специальном носителе
  • Количество загрузочных портов: 2; кассетная загрузка
  • Возможность автоматического переноса сверхтонких кремниевых пластин (до 50 мкм)
  • До 7 портов для подключения камер нагрева, травления, напыления
  • Мишени для распыления: f300 x 12t.
  • Возможность использования до 5 уникальных рецептов процесса
  • Время обработки одной подложки: минимально – 35 секунд
  • Оперативное управление температурой пластины
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: Ar, N2,сжатый воздух и прочие
  • Эффективная система водяного охлаждения
  • Система управления: компьютерная
  • Вакуумная система: турбомолекулярный насос, крионасос, безмасляные форвакуумные насосы

к списку

Scroll Up