ULVAC SRH-420/420МС cluster (PVD)

  • Автоматическая кластерная установка физического осаждения из газовой фазы – напыления металлов на обратную сторону пластины для серийного производства
  • Назначение: нанесение металлических пленок (Cr, Cu, TiW и пр.) для силовых устройств, нанесение затравочного слоя электролитического покрытия (WL-CSP), нанесение барьерной металлизации (UBM), другие аналогичные применения
  • Пластины: ø125мм ÷ ø200мм
  • Количество загрузочных портов: 2; кассетная загрузка
  • Возможность автоматического переноса сверхтонких кремниевых пластин (толщиной до 50 мкм)
  • Возможность использования до 5 уникальных рецептов процесса
  • Рабочие камеры: до 3 (камеры напыления, камера травления)
  • Катоды: одиночные до ø13”, например: Ni, припой (Sn-Ag-Cu); мультикатоды до ø12”, содержащие до 3 видов мишеней, например: Al-1.0%Si,Ti и т.д. Распыление постоянным током.
  • ВЧ-источник для камеры травления
  • Оперативное управление температурой пластины
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: Ar, N2,сжатый воздух и прочие
  • Эффективная система водяного охлаждения
  • Система управления: компьютерная
  • Вакуумная система: турбомолекулярный насос, крионасос, безмасляные форвакуумные насосы

к списку

Scroll Up