ULVAC SME-200J cluster (PVD)

  • Автоматическая кластерная установка физического осаждения из газовой фазы для серийного производства приборов на поверхностных акустических волнах, МЭМС, и т.д.
  • Назначение: осаждение пьезоэлектрических слоев, например: свинец-цирконий-титан (Pb(Zr,Ti) O3); металлов, нитридов кремния и алюминия, оксида алюминия
  • Пластины: до ø200мм
  • Процессные камеры: до 5 (камеры напыления, камеры нагрева – предварительный нагрев до 700°С, камеры травления)
  • Кассетная загрузка
  • Модули загрузки-разгрузки: 1
  • Транспортировочная система: 6-ти сторонний транспортировочный модуль с вакуумным транспортировочным роботом с двойным захватывающим устройством
  • Источник распыления: катод, (от 4”); источник питания постоянного тока
  • ВЧ-источник для камеры травления
  • Газовая система: до 3 газовых линий с РРГ
  • Применяемые газы: Ar, O2, N2 и прочие с давлением (0,05÷0,1)Мпа
  • Очищенный сжатый воздух: (0,55÷0,75)Мпа
  • Охлаждающая вода: давление – (0,2÷0,3)Мпа, температура – (20÷25)°C
  • Система управления: компьютерная
  • Вакуумная система: турбомолекулярный насос, крионасос, безмасляные форвакуумные насосы
  • Электроэнергия: 200В, 126A, 3ф, 50/60Гц 
  • Размеры: 2,74 х 1,83 х 1,83 м
  • Вес:около 1135 кг.

к списку

Scroll Up