ULVAC MLX-3000N cluster (PVD)

• Автоматическая кластерная установка физического осаждения из газовой фазы
• Назначение: производство силовых приборов (front side and backside), нанесение подстолбиковой металлизации, нанесение барьерной металлизации (UBM), изготовление приборов на поверхностных акустических волнах, обработка пластин нестандартной формы
• Пластины: ?75мм ? ?200мм
• Процессные камеры: до 4-х (камеры напыления, камеры травления)
• Кассетная загрузка
• Модули загрузки-разгрузки: до 2-х (или 1 модуль загрузки и 1 камера дегазации — предварительный нагрев до 700°С)
• Транспортировочная система: 6-ти сторонний транспортировочный модуль с вакуумным транспортировочным роботом с двойным захватывающим устройством
• Источник распыления: катод, (4”?12”); источник питания постоянного тока
• ВЧ-источник для камеры травления
• Газовая система: до 3 газовых линий с РРГ
• Применяемые газы: Ar, O₂, N₂ и прочие с давлением (0,05?0,1)Мпа
• Очищенный сжатый воздух: (0,55?0,75)Мпа
• Охлаждающая вода: давление — (0,2?0,3)Мпа, температура – (20?25)°C, расход – 100л/мин
• Система управления: компьютерная
• Вакуумная система: турбомолекулярный насос, крионасос, безмасляные форвакуумные насосы
• Опционно: механизм затвора (источнике излучения), электростатический прижим, газоанализатор, загрузочный шлюз
• Электроэнергия: 200В, 3ф, 50/60Гц 

к списку