ULVAC MLX-3000N cluster (PVD)

  • Автоматическая кластерная установка физического осаждения из газовой фазы
  • Назначение: производство силовых приборов (front side and backside), нанесение подстолбиковой металлизации, нанесение барьерной металлизации (UBM), изготовление приборов на поверхностных акустических волнах, обработка пластин нестандартной формы
  • Пластины: ø75мм ÷ ø200мм
  • Процессные камеры: до 4-х (камеры напыления, камеры травления)
  • Кассетная загрузка
  • Модули загрузки-разгрузки: до 2-х (или 1 модуль загрузки и 1 камера дегазации – предварительный нагрев до 700°С)
  • Транспортировочная система: 6-ти сторонний транспортировочный модуль с вакуумным транспортировочным роботом с двойным захватывающим устройством
  • Источник распыления: катод, (4”÷12”); источник питания постоянного тока
  • ВЧ-источник для камеры травления
  • Газовая система: до 3 газовых линий с РРГ
  • Применяемые газы: Ar, O2, N2 и прочие с давлением (0,05÷0,1)Мпа
  • Очищенный сжатый воздух: (0,55÷0,75)Мпа
  • Охлаждающая вода: давление – (0,2÷0,3)Мпа, температура – (20÷25)°C, расход – 100л/мин
  • Система управления: компьютерная
  • Вакуумная система: турбомолекулярный насос, крионасос, безмасляные форвакуумные насосы
  • Опционно: механизм затвора (источнике излучения), электростатический прижим, газоанализатор, загрузочный шлюз
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 50/60Гц 

к списку

Scroll Up