Tokyo Electron TEL TELINDY PLUS (ALD/LPCVD/Ox) / TELINDY PLUS Irad (PEALDOx)

  • Автоматическая установка термического атомно-слоевого осаждения / химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении / оксидирования / отжига с  шлюзовой загрузкой для производства
  • Рабочая кварцевая камера
  • Назначение: атомно-слоевое осаждение слоев диэлектриков (SiO2, Si3N4), а также материалов с высокой диэлектрической проницаемостью (High-k);  LPCVD кремния (поли-Si, a-Si, SiO2, Si3N4); оксидирование радикалами; отжиг
  • Загрузка: в FOUP-контейнерах через 2 загрузочных шлюза с продувкой азотом; загрузочная вилка из Al2O3 с покрытием полиэфирэфиркетоном (PEEK)
  • Вместимость системы загрузки: 18 FOUP
  • Контроль среды зоны загрузки для снижения содержания O2 и микрочастиц
  • Пластины: кремниевые, ø300мм
  • Загрузка: до 125 пластин (100 – ALD)
  • 2 типа рабочих кварцевых лодочек (на 117 слотов)
  • Система охлаждения азотом пластин в лодочках
  • Температура процессов: до 1100°С – TELINDY PLUS, до 800°С – TELINDY PLUS Irad. Рабочая температура процессов ALD: 300°С.
  • Для процессов ALD – низкотемпературный 4-х зонный нагреватель (150÷600)°С.
  • Чувствительный нагреватель TEL FTPS ™ для быстрого нагрева и охлаждения с температурным контроллером.
  • Источники плазмы для PEALD: ВЧ-генератор 13,56МГц (рабочий режим – 500Вт)
  • Применяемые газы: C8H18, O3, Ar, N2 сжатый воздух и прочие
  • Газовый шкаф на 7 линий с РРГ и детекторами утечки газов
  • Системы обеспечения жидкими химреагентами: Zr bubbler, Ti bubbler, TMA bubbler, Hf bubbler, системы доставки с обогревом
  • Генератор водяного пара
  • Система генерации и доставки озона
  • Система очистки рабочей камеры
  • Требуется вытяжная система, охлаждающая вода
  • Высокопроизводительная вакуумная система с безмасляными водоохлаждаемыми насосами
  • Система управления: компьютерная
  • Электроэнергия: 480В, 3ф; 120В, 1ф; 60Гц либо 208В, 3ф; 60Гц

к списку

Scroll Up