Oxford Instruments PlasmaPro 100 ALE

  • Специализированная установка атомно-слоевого травления на платформе PlasmaPro 100 для НИОКР и опытного производства
  • Назначение: травление наноразмерных слоев (например, 2D-материалов), канавок для  GaN HEMT, соединений А3В5, твердотельных InP лазеров, GaAs/AlGaAs лазеров поверхностного излучения с вертикальным объёмным резонатором (VCSEL), SiO2, кварца, твердых масок для производства светодиодов высокой яркости,  при анализе отказов; процессы криотравления и Bosch кремний; процессы травления с высоким соотношением сторон (HAR) и т.д.
  • Варианты исполнения: обособленные модули с камерой загрузки или в кластерной конфигурации, в т.ч. с модулями Nanofab и FlexAl
  • Подложки: пластины до ø200 мм
  • Электрод-подложкодержатель с изменяемой высотой размещения для обработки подложек различной толщины (до 10мм)
  • Подложкодержатель с охлаждением обратной стороны гелием
  • Электрод с широким диапазоном температур: от -150ºC до +400°C (система охлаждения жидким азотом, охладителем с рециркуляцией жидкости или резистивным нагревом)
  • Источники плазмы: RF-генератор 13,56 МГц, 300Вт/600Вт; ICP-генератор 2 МГц, 3000 Вт
  • Прецизионная система согласования нагрузки
  • Варианты размера источника ICP: ø65 мм, ø180 мм, ø300 мм
  • Подача рабочего газа в реактор через газовый распылитель душевого типа
  • Линий подачи газа с РРГ: до 8 (12), из них с быстродействующими клапанами – до 5
  • Применяемые газы: Cl2, CHF3, C4F8, BCl3, N2O, CH4, O2, Ar, He, N2, H2, очищенный сжатый воздух и прочие
  • Встроенная плазменная очистка камеры
  • Компьютерная система управления
  • Высокоэффективная вакуумная система с форвакуумным и турбомолекулярным насосами
  • Электроэнергия: 400В, 3ф, 32А, 50/60Гц либо 208В, 3ф, 50А, 50/60Гц
  • Габариты: основной блок (без шлюза) – 1172 x 650 x 1729 мм
  • Опционно: интерферометр; спектроскоп для контроля плазмы; дополнительный блок продувки и замены жидкости для автоматизации процесса переключения режимов охлаждения; электростатический подложкодержатель; возможность нагрева боковых стенок; электростатическое экран

к списку

Scroll Up