Oxford Instruments Optofab 3000 (IBSD)

  • Специализированная установка ионно-лучевого осаждения прецизионных многослойных оптических покрытий для НИОКР и мелкосерийного производства
  • Назначение: осаждение прецизионных многослойных оптических покрытий,   нанесение высококачественных фаcетных просветляющих (антиотражающих) и антибликовых  покрытий, изготовление оптических узкополосных фильтров и т.д.
  • Варианты исполнения: обособленные модули или в кластерной конфигурации
  • Загрузка-выгрузка подложек: ручная шлюзовая или кассетная автоматическая
  • Подложки: до ø200 мм
  • Применяемые технологии: ионно-лучевое напыление (IBSD)
  • Угол наклона подложки к оси: от -90° по горизонтали до +65 ° вниз
  • Температура подложкодержателя: (10÷300)°С; наличие системы нагрева и охлаждения
  • Ионный источник для распыления мишени (для осаждения): ВЧ ø150 мм
  • Размер и количество мишеней (для осаждения):  до 4-х ø200 мм
  • Линии подачи газа с РРГ: до 8 / 12 (в зависимости от конфигурации)
  • Применяемые газы: He, N2, очищенный сжатый воздух и прочие
  • Вакуумная система с криогенным и форвакуумным насосами
  • Система водяного охлаждения
  • Компьютерная система управления PC3000 и компьютерная система оптического мониторинга
  • Измеритель скорости осаждения на базе кварцевого кристалла
  • Электроэнергия: 400В, 3ф, 70А, 50/60Гц / 208В, 3ф, 90А, 50/60Гц
  • Габариты: основной блок с ионными источниками, крионасосом и газовым шкафом – 2085 x 1770 x 1840 мм; CU 500 Heater Chiller – 395 x 645 x 498 мм; НХ-75 Chiller – 590 x 476 x 908 мм; 8200 Crio Compressor (8” crio pump) – 500 x 570 x 430 мм; 9200 Crio Compressor (10” crio pump) – 496 x 578 x 674 мм; Polycold Refrigerator PFC 200 – 610 x 559 x 1400 мм;
  • Опционно: анализатор остаточной атмосферы (RGA), спектроскопический оптический монитор (WLOM)   

к списку

Scroll Up