Oxford Instruments Ionfab300Plus (IBE/IBD)

  • Модульная установка ионно-лучевого травления и осаждения в микроэлектронике и оптике для НИОКР и серийного производства
  • Назначение: травление металлов CdHgTe (CMT), Ni, NiCr, Cu, Al, Au, Ag, Pt, Pd; травление оксидов и нитридов SiO2, Si3N4, LiNbO3 и т.д.; травление соединений А3В5 для фотоэлектроники; осаждение и травление VOx; осаждение многослойных слоев HfO2/SiO2; изготовление ИК-детекторов, дифракционных решеток, головок для тонкопленочных магнитных жестких дисков (TFMH), телекоммуникационных фильтров, электронных схем с использованием поляризованных по спину электронов и  магниторезистивной памяти с произвольным доступом (MRAM); нанесение просветляющих (антиотражающих) и антибликовых  покрытий для лазерных стержней и прочего.
  • Варианты исполнения: обособленные модули или в кластерной конфигурации
  • Загрузка-выгрузка подложек: ручная шлюзовая или кассетная автоматическая
  • Подложки: до ø100мм (SC версия); до ø200 мм (LC версия)
  • Применяемые технологии: ионно-лучевое травление/распыление (IBE/IBM); реактивное ионно-лучевое травление (RIBE); химически-стимулированное ионно-лучевое травление (CAIBE); ионно-лучевое напыление (IBSD); ионно-стимулированное напыление (IASD); реактивное ионно-лучевое осаждение (RIBD)
  • Угол наклона подложки к оси: от -90° по горизонтали до +65°/75° вниз (в зависимости от конфигурации)
  • Скорость вращения подложки: до 20 об/мин
  • Температура подложкодержателя: (10÷300)°С; наличие системы нагрева и охлаждения (возможность охлаждения обратной стороны пластины He (турбонасос) или Ar (крионасос))
  • Ионный источник для травления, очистки: ВЧ (13,56 МГц) ø150 мм (SC версия); ВЧ ø350 мм (LC версия)
  • Ионный источник для распыления мишени (для осаждения): ВЧ ø150 мм
  • Размер и количество мишеней (для осаждения):  до 4-х ø200 мм
  • Возможность очистки (травления) боковых стенок
  • Линии подачи газа с РРГ: до 8
  • Применяемые газы: SF6, CHF3, CF4, BCl3, Cl2, SiCl4,  O2, Ar, Kr, Xe, He, N2, очищенный сжатый воздух и прочие
  • Вакуумная система с турбомолекулярным или криогенным и форвакуумными насосами (вариант зависит от конфигурации установки)
  • Компьютерная система управления PC3000
  • Измеритель скорости осаждения на базе кварцевого кристалла
  • Опционно: анализатор остаточной атмосферы (RGA), масс-спектрометр вторичных ионов (SIMS), спектроскопический оптический монитор (WLOM)   

к списку

Scroll Up