Lam Research LAM Striker (ALD)

  • Автоматическая установка атомно-слоевого осаждения с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: осаждение тонких диэлектрических слоев (разделители изображений и фотошаблоны, однородные слои, слои для ограничения травления, заполняющий зазоры диэлектрик, герметизирующие слои, оптические пленки) для логических устройств, схем памяти, устройств отображения информации
  • До 4-х процессных модулей
  • Загрузка в контейнерах
  • Три кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин
  • Пластины: ø300мм
  • Обработка: по одной пластине в модуле
  • Система управления: компьютерная
  • Вакуумная система
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Электроэнергия

к списку

Scroll Up