Lam Research LAM (Novellus) INOVA Next  (PVD 300мм)

  • Автоматическая установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: осаждение слоев титана/нитрида титана (Ti/TiN),  осаждение алюминия (Al) для стековой металлизации; осаждение танталового (Ta) барьера / осаждение меди (Cu)
  • До 7-ми процессных камер. Варианты: Inova NexT, Inflection FFWA Module
  • Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо в SMIF-контейнерах, либо кассетная загрузка (25 пластин в кассете)
  • Три кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин (например, BROOKS AUTOMATION ATR-8, MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X) Vacuum Robot)
  • Две камеры дегазации
  • Две камеры предочистки (травление)
  • Станция активного охлаждения
  • Пластины: ø300мм
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом
  • Генераторы: постоянный ток (например, CPW2670B10-47 – (460 / 480)В, 36 кВт; CPI CPW2870B18); ВЧ-генераторы на 400кГц и13,56 МГц (например, APEX 3013)
  • Газовая система: газовые линии с РРГ / ручным вентилем
  • Применяемые газы: NF3, NH3,  Ar, O2, H2, N2 и прочие;расход процессных газов – (12÷120) л/ч
  • Прекурсор: NVLS-03
  • Оборотная охлаждающая вода
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой
  • Чиллер (с деионизованной водой), криокомпрессоры, аппаратная стойка
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы (например, MH071P DN63 ISO-K, 3P), безмасляные насосы (например, Kashiyama SDE90)
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Электроэнергия: 208В, 3ф, 50/60Гц, 340А

к списку

Scroll Up