Lam Research LAM (Novellus) INOVA 200 мм(PVD)

  • Автоматическая установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: осаждение танталового (Ta) барьера / осаждение зародышей кристаллизации меди (Cu)
  • До 4 процессных камер.
  • Загрузка в SMIF-контейнерах (LPT2000)
  • Две кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин (например, 3-осевой Trust Cntrl ConMag II Robot с керамической лопаткой (робот перемещения); встроенная автоматическая система Brooks Mag 7 Robot с керамическим концевым захватом (FE робот)
  • Станция дегазации, охлаждающая станция
  • Пластины: ø200мм
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и охлаждением
  • Генераторы: постоянный ток (например, CPI, 36 кВт); ВЧ- и НЧ-генераторы (например,  Advance Energy RF 10s & LF 10WC)
  • Газовая система: газовый шкаф на 3 газовые линии с РРГ / ручным вентилем на рабочую камеру
  • Применяемые газы: Ar, N2;расход газов – (12÷120) л/ч
  • Оборотная охлаждающая вода
  • Система управления: компьютерная
  • Чиллеры (например, MYDAX  1-VLH7-WB,  POLYCOLD 152-WC-CE/S2), в том числе с использованием деионизованной воды (например, Affinity E series chiller EWA-15DK-GE06CBC0), криокомпрессоры (Helix CTI 9600), аппаратная стойка, нагреватель
  • Высокопроизводительная вакуумная система: крионасосы (например, CTI Cryogenic 8″ F и 4″), безмасляные насосы (например, Ebara EV-S20N)
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Электроэнергия

к списку

Scroll Up