Lam Research LAM (Novellus) Flex (ALE/RIE)

  • Автоматическая установка плазмоактивированного атомно-слоевого травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление диэлектриков (в т.ч. SiO2) при производстве  логических устройств до 10 нм и ниже
  • До 4-х процессных камер
  • Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо в SMIF-контейнерах
  • Три кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин
  • Пластины: ø300мм
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом
  • Система управления: компьютерная
  • Высокопроизводительная вакуумная система
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Электроэнергия: 208В, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up