FHR.Boxx.400-PVD (PVD)

  • Однокамерная установка магнетронного напыления для мелкосерийного производства
  • Назначение: нанесение оптических пленок на осветительные приборы, функциональных покрытий для МЭМС и датчиков, декоративных покрытий, многослойных покрытий
  • Реализуемые процессы: магнетронное напыление (постоянным током или ВЧ-режим); предварительная обработка (например, плазменное травление)
  • Подложки:  пластины до ø150 мм или подложки до 156 x 156 мм
  • Объем групповой загрузки: до 24 подложек размером 4″, до 12 подложек размером 6″
  • Загрузка: ручная загрузка-выгрузка подложек через дверь во фронтальной части установки на вращающийся барабан (опционно – через загрузочный шлюз)
  • Вращающийся барабан для равномерного нанесения слоёв:при вращении барабана подложки перемещаются мимо различных источников напыления и травления, обеспечивающих нанесение необходимых слоев
  • Источники напыления: FHR.SR400-DC или FHR.SR400-RF
  • Источник травления: FHR.IEC420-RF
  • Количество процессных источников: до 8
  • Управление процессом программируемым логическим контроллером
  • Предельное остаточное давление: 5 x 10-7 мбар
  • Возможно размещение в чистой комнате всей установки, либо только зоны загрузки
  • Габариты: 3760 х 2950 х 2500 мм
  • Вес: 2550 кг
  • Опции: камера загрузочного шлюза; система реактивного распыления по запросу заказчика; два барабана для размещения подложек, а также для их нагрева

к списку

Scroll Up