Applied Materials AMAT Endura UHV PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы алюминия (Al), титана (Ti), нитрида титана (TiN), титана/нитрида титана (Ti/TiN), меди (Cu), нитрида тантала (TaN), никеля-платины (NiPt), кремния-кобальта-никеля (SiCoNi) и прочих
  • Загрузка в FOUP-контейнерах
  • 2 кассетные загрузочные камеры
  • 1 буферная камера
  • 1 камера дегазации
  • 1 камера предварительной очистки
  • 1 камера перемещения
  • До 4-х камер сверхвысоковакуумных камер физического осаждения из газовой фазы
  • До 2-х камер высоковакуумных процессных камер
  • 2 камеры охлаждения
  • 2 роботизированных 2-координатных устройства перемещения пластин (буферная камера и камера перемещения)
  • Пластины: ø300мм
  • Генераторы постоянного тока – источники питания магнетронов: ENI DCG-200Z,  Advanced Energy MDX-L HALO (6 кВт) / Pinnacle
  • ВЧ генераторы: ENI GHW-12Z (1250Вт, 13,56 MГц);  ENI GMW-25Z (2500Вт, 2 MГц)
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: N2, He и прочие; расход газов
  • Система управления: компьютерная
  • Криокомпрессоры CTI Cryogenics, OBI S CTI onboard, нагреватель, чиллер DAIKIN
  • Вакуумная система
  • Вытяжная вентиляция от вакуумной системы
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Оборотная охлаждающая (деионизованная) вода

к списку

Scroll Up