Applied Materials AMAT Endura IMPULSE PCRAM PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для массового производства магниторезистивой памяти  – магниторезистивной памяти с произвольным доступом (ReRAM) и памяти с изменяемым фазовым состоянием вещества (PCRAM)
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы халькогенидного стекла, состоящего из германия (Ge), сурьмы (Sb) и теллура (Te) – специализированные импульсные GST PVD камеры осаждают сложный материал с фазовым переходом, который превращается из высокопроводящего аморфного состояния в низкопроводящее кристаллическое состояние при воздействии тепла через электрический ток. Другие версии камер Impulse оптимизированы для нанесения в них оксидов металлов и нитридов с исключительным контролем толщины и однородности состава в качестве резистивных запоминающих материалов для применения в ReRAM. Осаждение в камере Avenir RF PVD слоя OVON – соединение германия (Ge), мышьяка (As) и селена (Se), изменяющегося от проводящего к резистивному, в зависимости от напряжения.
  • 3 кассетные загрузочные камеры
  • 2 камеры дегазации
  • Камеры предварительной очистки
  • Камеры отжига
  • Камеры охлаждения
  • До 7 камер осаждения: специализированные импульсные GST PVD камеры, камеры Avenir RF PVD
  • Роботизированное устройство перемещения пластин (буферная камера и камера перемещения)
  • Пластины: ø300мм
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: Ar, N2 и прочие
  • Система управления: компьютерная; встроенная система контроля толщины слоев
  • Вакуумная система
  • Вытяжная вентиляция от вакуумной системы
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Охлаждающая вода

к списку

Scroll Up