Applied Materials AMAT Endura II PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы кобальта (Co), никеля (Ni), никеля-платины (Ni-10%Pt),  алюминия (Al), титана (Ti), нитрида титана (TiN), титана/нитрида титана (Ti/TiN), алюминия-меди (AlCu),  вольфрама (W), кремния (Si), кремния- кобальта- никеля (SiCoNi), алюминия/титана (Al/Ti), меди (Cu) и прочих
  • Загрузка в SMIF-контейнерах / загрузка в FOUP-контейнерах
  • 3 кассетные загрузочные камеры
  • 2 камеры дегазации
  • 2 камеры охлаждения
  • Роботизированное устройство перемещения пластин (буферная камера и камера перемещения)
  • Пластины: ø300мм
  • Подложкодержатель с  электростатическим прижимом
  • Генераторы постоянного тока – источники питания магнетронов: Advanced Energy 20 кВт, OPTIMA MKS DCG-200Z
  • ВЧ генераторы: ENI GHW-12Z (1250Вт, 13,56 MГц);  COMDEL CB3500 (3500Вт)
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: Ar, N2 и прочие
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой
  • Криокомпрессоры Helix/CTI IS-1000, нагреватель, чиллер
  • Вакуумная система: криогенные насосы, безмасляные вакуумные насосы, вакуумный насос Рутса
  • Вытяжная вентиляция от вакуумной системы
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Охлаждающая вода

к списку

Scroll Up