Applied Materials AMAT Endura Clover MRAM PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для массового производства магниторезистивой памяти  – магнитных устройств с произвольным доступом (MRAM)
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы металлических слоев (до 5 материалов в одной камере) в условиях вакуума
  • 3 кассетные загрузочные камеры
  • 2 камеры дегазации
  • Камеры предварительной очистки
  • Камеры отжига
  • Камеры охлаждения
  • До 7 камер осаждения
  • Роботизированное устройство перемещения пластин (буферная камера и камера перемещения)
  • Пластины: ø300мм
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: Ar, N2 и прочие
  • Система управления: компьютерная; встроенная система контроля толщины слоев
  • Вакуумная система
  • Вытяжная вентиляция от вакуумной системы
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Охлаждающая вода

к списку

Scroll Up