Applied Materials AMAT Endura CIRRUS HT Co PVD 300mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для массового производства DRAM-структур
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы кобальта (Co) для образования подслоя силицида кобальта с последующим осаждением слоев  нитрида титана (TiN) в условиях вакуума
  • 3 кассетные загрузочные камеры
  • 2 камеры дегазации
  • Камеры предварительной очистки кремния перед силицидированием
  • Камеры отжига
  • Камеры охлаждения
  • Камеры осаждения
  • Роботизированное устройство перемещения пластин (буферная камера и камера перемещения)
  • Пластины: ø300мм
  • ВЧ генераторы
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Система управления: компьютерная; встроенная система контроля толщины слоев
  • Вакуумная система
  • Вытяжная вентиляция от вакуумной системы
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Охлаждающая вода

к списку

Scroll Up