Applied Materials AMAT Endura 5500 PVD 150/200mm

  • Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: физическое осаждение из газовой фазы алюминия (Al), титана (Ti), нитрида титана (TiN), титана/нитрида титана (Ti/TiN), алюминия-кремния-меди (AlSiCu), алюминия/титана (Al/Ti), тантала (Ta), алюминия-меди (AlCu), меди (Cu) и прочих
  • Кассетная загрузка / загрузка в SMIF-контейнерах
  • 2 кассетные загрузочные камеры
  • 1 буферная камера
  • 1 (2) камера дегазации / ориентирования пластин
  • 1 (2) камеры предварительной очистки
  • 1 камера перемещения
  • До 4-х камер сверхвысоковакуумных камер физического осаждения из газовой фазы
  • До 2-х камер высоковакуумных процессных камер
  • 2 камеры охлаждения (внешняя и внутренняя)
  • 2 роботизированных 2-координатных устройства перемещения пластин (буферная камера и камера перемещения)
  • Пластины: ø150мм, ø200мм
  • Подложкодержатель с  нагревателем, электростатическим прижимом и водяным / гелиевым охлаждением
  • Генераторы постоянного тока – источники питания магнетронов: Advanced Energy MDX-L6 / MDX-L12 / MDX-L12M / MDX-10K / MDX-20K / MDX-650 HiZ
  • ВЧ генераторы: COMDEL CX-600S / CPS1001S (0÷1000)Вт, 13,56 MГц; RFPP LF10A RF (0÷1000)Вт, 400 KГц; Vectra IMP 010CAP 2 MГц; Advanced Energy HFV8000
  • Газовая система: до 20 газовых линий с РРГ
  • Применяемые газы: Ar (до 2,1 бар), N2 (до 7 бар), 5%H2/He, He и прочие;расход газов – до 30 л/мин
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой
  • Криокомпрессор 9600 Compressor водоохлаждаемый, нагреватель, чиллер Neslab 2600
  • Вакуумная система: криогенный насос (камера перемещения – 10-8 торр, буферная камера – 10-6 торр,  процессные камеры – 10-9 торр), турбомолекулярный насос с роторно-лопастным насосом (камера предварительной очистки – 10-7 торр), блок роторно-лопастный насос / вакуумный насос Рутса (Alkatel A100L воодоохлаждаемый) (загрузочные камеры – 10-5 торр) и централизованная вакуумная система
  • Вытяжная вентиляция от основного модуля, генератора, вакуумной системы
  • Очищенный сухой сжатый воздух: до 5,5 бар
  • Оборотная охлаждающая вода: до 7 бар
  • Электроэнергия: 200/208/380/400/415/440/480В, 250/343/400/502А, 3ф, 50/60Гц
  • Габариты: основной модуль – (2921×2464х2500) мм (без вакуумных насосов, криокомпрессора, чиллера и т.д.)
  • Вес: основной модуль – 3400 кг

к списку

Scroll Up