Thermco x60 compact series (R&D)

  • Печь однотрубчатая для научных исследований и опытного производства
  • Все основные атмосферные и CVD процессы
  • Рабочая зона реактора 10-12” с загрузкой до 50 пластин.
  • Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С
  • Скорость нагрева: до 20 °С/мин
  • Скорость охлаждения: до 7 °С/сек
  • Стабилизация температуры: ± 0,25 °С
  • Пластины: 100, 150, 200 мм.
  • Система управления PCMUX
  • Ручной моторизированный консольный загрузчик
  • Интегрированный в конструкцию газовый шкаф
  • Количество газовых линий с ручным или автоматическим регулированием: до восьми
  • Возможны различные конфигурации и опции, в т.ч. размещение печей в 2 уровня

к списку

Scroll Up