TEL ALPHA(α)-303i

  • Установка термической обработки для кремниевых пластин 300 мм.
  • оснащение функциями, основанными на высоких технологиях ALPHA-8SE.
ALPHA(α)-303i
Размер пластины (мм)300
Доступностьб/у
ПроцессыOxide, Anneal, Nitrade, Poly, TEOS, HTO, High-k
РеакторThermal
ТемператураRT-1200C
Дополнительные опцииN2,/LL, Gas cleaning: CIF3 for poly

к списку

Scroll Up