Kokusai Electric Vertron III DJ-803V

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь для группового химического осаждения нитридов из газовой фазы при пониженном давлении
  • Загрузка: загрузочная станция для  SMIF-контейнеров
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø8″
  • Объем загрузки пластин: 125 шт
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: SiH2Cl2, NH3, N2
  • Система управления: компьютерная
  • Система управления температурой с термопарами
  • Нагреватель с 4-мя зонами нагрева
  • Диапазон рабочих температур: (650÷780)°C
  • Длина зоны с однороной температурой: 1200 мм
  • Материал процессной камеры и лодочки – кварц
  • Система вращения лодочки
  • Вакуумная система: EDWARDS QDP80 + QMB 1200
  • Система управления давлением
  • Система вентиляции
  • Электроэнергия: 280В, 1ф, 50Гц, 42кВА и 100В, 1ф, 50Гц, 20кВА

к списку

Scroll Up