Kokusai Electric MG 8500R/8500ZS 200mm

  • Автоматическая вертикальная установка озоления для обработки групповам методом в промышленном производстве
  • Пластины: ø8″ (ø200мм)
  • Объем загрузки пластин: 50 шт
  • Загрузка в SMIF-контейнерах доступна для 8500ZS, как опция – для 8500R
  • Роботизированные устройства загрузки и перемещения пластин
  • Количество камер озоления: 8500R – 1шт., 8500ZS – 2шт.
  • ВЧ-генератор: 13, 56МГц, 2 кВт, автоматическая подстройка
  • Коаксиальные электроды вертикального типа для создания плазмы
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: O2 (давление 0,2 Мра – для 8500R и 0,1 Мра – для 8500ZS), N2 (давление 0,3 Мра – для 8500R и 0,5 Мра – для 8500ZS)
  • Сухой очищенный сжатый воздух давлением 0,5 Мра
  • Система управления: компьютерная, 3-х шаговая, 128 программ – для 8500R и 20 программ – для 8500ZS
  • Вакуумная система: производительность вакуумного насоса – 10000 л/мин 
  • Охлаждающая вода: не менее 6 л/мин при давлении не более 0,5 Мра
  • Модуль очистки типа ULPA доступен для 8500ZS, как опция – для 8500R
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 50Гц
  • Вес: основной блок 8500R – 500кг, стойка управления – 120кг; основной блок 8500ZS – 1500кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.