Kokusai Electric MARORA

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для плазменного нитридирования / оксидирования при однопластинной обработке в промышленном производстве
  • Назначение: плазменное нитридирование диэлектрических пленок; плазменное оксидирование (формирование тонких оксидированных пленок, селективное оксидирование, анизотропное оксидирование, оксидирование кремния без оксидирования металла) при производстве последнего поколения динамических ОЗУ, логических устройств или флеш-ПЗУ
  • Высокотемпературный нагреватель с широким диапазоном регулирования температуры
  • Модифицированный магнетронный генератор плазмы с низкой электронной температурой (~1eV) для неповреждающих плазменных процессов

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.