Kokusai Electric Lambda Strip 3000 / 3000 II

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для вскрытия фоторезиста / озоления (удаления сухого пленочного резиста) при однопластинной обработке в промышленном производстве
  • Назначение: вскрытие фоторезиста / озоления (удаления сухого пленочного резиста)
  • Пластины: ø8”
  • Загрузочные камеры для кассетной загрузки: 2
  • Вакуумируемая роботизированная система транспортировки пластин: 2
  • Количество рабочих камер: 2
  • Материал камер: кварц
  • Модуль контроля и регулирования температуры подложкодержателя
  • ВЧ-генератор: 2
  • Газовая система: газовые линии с РРГ и общей системой управления
  • Применяемые газы: SF6, N2, O2, CF4, NH3, 4%H2/N2 и прочие. Давление – (2÷3 )бар. Расход газов – (3÷3000) л/ч
  • Сухой очищенных сжатый воздух: давление – 5 бар, расход – 20 л/мин
  • Охлаждающая вода: давление – (3÷3,5) бар, расход – 20 л/мин
  • Модуль управления охлаждающей водой: 2
  • Модули вакуумных насосов с системой управления: 2
  • Система управления: компьютерная (Windows 98)
  • Электроэнергия: 200/208В, 3ф, 50/60Гц, 125А
  • Вес: 1200 кг

к списку

Scroll Up