Kokusai Electric DD-803V

  • Автоматическая вертикальная печь для термических (пирогенных) процессов
  • Кассетная загрузочная станция
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø150мм
  • Газовая система: до 6 газовых линий с РРГ
  • Применяемые газы: N2O, H2, O2, N2 и прочие.Расход процессных газов – (60÷1200) л/ч
  • Применяемые химикаты: DCE
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой
  • Нагреватель
  • Система управления давлением
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 50/60Гц; 100В, 1ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up