ACCRETECH W-GM-4200

  • Установка шлифования краёв пластин W-GM-4200
  • Обрабатываемые края пластин 2″ – 6″ или 4″ – 8″
  • Толщина пластин 0,4 ~ 1,0 мм (стандарт)
  • Тип пластин: OF, CF × 2 (<1/2), Notch (опция)
  • Разрешение по осям X, Y, Z – 1 мкм, 0.001°
  • Спин очистка
  • Сушка сухим сжатым воздухом
  • Бесконтактный метод измерения достигает стабильного выравнивания.
  • Осуществляется бесконтактное измерение толщины предварительно обработанных пластин во множестве точек, диаметр и глубина надреза после обработки пластины
  • Панель управления: 12 “цветной ЖК – дисплей с сенсорным датчиком
  • Габариты 2115 (Ш) х 1410 (Д) × 2000 (H) мм. Вес 3000кг Модификация для 300мм пластин: W-GM-520

к списку

Scroll Up