ACCRETECH ChaMP 232

  • Установка химико-механической планаризации ChaMP 232
  • Пластины 4″, 6″, 8″
  • Полировальные головки 2″ ~ 12″
  • От R & D до мелкого и серийного производства
  • Формирование воздушной пленки обеспечивает равномерное распределение давления в плоскости пластины
  • Отличное управление на крае профиля
  • Установка загрузчика пластин обеспечивает полный автоматический режим работы
  • Установка блока очистки позволяет осуществлять точную очистку Модификации:
  • Полуавтоматическая система CMP
  • Автоматическая система CMP с загрузчиком
  • Автоматическая система CMP с загрузчиком и очистителем

к списку

Scroll Up