ACCRETECH A-CS-100A

  • Установка очистки поверхности полупроводниковых пластин A-CS-100A
  • Диаметр пластин: от 5″ до 8″
  • Максимальная скорость вращения вращающегося стола составляет до 3000 об./мин
  • Способ очистки: высокое давление, полоскание, обдув сухим воздухом
  • Очистка под высоким давлением воды до 10 Мпа
  • Давление деионизованной воды при полоскании менее 0,4 Мпа
  • Давление воздуха для сушки менее 0,7 Мпа
  • Источник питания 100В, от 50 до 60 Гц (однофазный)
  • Максимальная потребляемая мощность 500ВА
  • Сжатый воздух от 0,5 до 0,7 Мпа, 200 Нл /мин
  • Деионизованная вода от 0,2 до 0,7 Мпа, 2 л /мин
  • Вес 125 кг.

к списку

Scroll Up