Corial 200FA

  • Установка реактивно-ионного травления для лабораторий анализа отказов с ручной загрузкой:

– изотропное (1500 нм/мин) удаление полиимида глубиной до 5000 нм,

– изотропное (700 нм/мин) и анизотропное (500 нм/мин) удаление Si3N4,

– изотропное и анизотропное (250 нм/мин) удаление SiO2,

  • Размер пластины – до Ø200мм
  • Технология разряда в системе с полым катодом
  • Гелиевое охлаждение обратной стороны подложкодержателя
  • Газовый шкаф с контроллерами массового расхода: СО2, O2, SF6, CHF3, C2H4, Ar – максимально до 9 газовых линий
  • 2000 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератор плазмы
  • Двухступенчатая система вакуумирования
  • Малая площадь размещения (0,81м2)
  • Габариты: 1080 х 750 х 1322 мм

к списку

Scroll Up