Автоматическая система очистки поликристаллических кусков кремния CHUNK STAR

В микроэлектронике самым востребованным материалом на данный момент является кремний. Большая часть полупроводниковых приборов выполнена на базе именно этого материала. Процесс получения высокочистого кремния с различными структурами является начальным этапом в технологической цепочке полупроводниковых приборов. И конечно чистота материала имеет огромное значение. Установка CHUNK STAR обеспечивает очистку поликристаллических слитков кремния химическими жидкостными методами. Благодаря высокой степени автоматизации эта система позволяет повысить производительность одной из основных операций цикла производства.

Автоматическая система очистки поликристаллических кусков кремния CHUNK STAR

Особенности:

  • Удаление органических и металлических загрязнений с поверхности поликристаллических кусков кремния
  • Транспортировка образцов в специальных контейнерах через процесс жидкостной химической очистки
  • Во время процесса образцы проходят через различные этапы травления и ополаскивания. После этого образцы сушатся
  • Автоматизированная система управления технологическим процессом, состоящая из SPS устройства и промышленного ПК
  • Простота и удобство обслуживания
  • Рама из нержавеющей стали
  • Корпус системы полностью изготовлен из полипропилена

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.