• В установках испытанные механические и электрические элементы сочетаются с инновационными компонентами для управления и регулирования процессов. Они превосходно зарекомендовали себя в серийном производстве кристаллов кремния диаметром 205 мм (8 дюймов). Размеры котла позволяют устанавливать 22-дюймовый нагреватель.
• Кристалл: диаметр до 230 мм, длина до 2500 мм
• Диаметр тигля до 558,8 мм, высота до 390 мм
• Котёл: диаметр 884 мм, высота 1450 мм

далее

• По сравнению с существовавшими ранее установками для тигельного вытягивания конструкция и исполнение установки EKZ 3000 представляют собой значительный шаг вперед на пути развития систем для выращивания кристаллов методом Чохральского.
• Этот тип установки разработан с учетом всех имеющихся знаний на момент создания, кроме того, были использованы ноу-хау заказчиков из разных стран мира.
• Эти установки полностью соответствуют необходимым условиям, которые выдвигаются в связи с высокими требованиями к качеству кристаллов и серийной производительности.
• Кристалл: диаметр до 300 мм, длина до 2100 мм

далее

• Установка EKZ 3500 предназначена для серийного производства кристаллов кремния диаметром до 300 мм (12 дюймов). Типичный вес загрузки находится в пределах 120– 200 кг в зависимости от применяемого для увеличения загружаемой партии нагревательно-пополняющего устройства. Этот тип установки разработан для полупроводниковой отрасли, но не менее успешно применяется и в производстве фотовольтаических систем.
• Кристалл: диаметр до 300 мм, длина до 2500 мм
• Диаметр тигля до 610 мм, высота до 380 мм
• Котёл: диаметр 940 мм, высота 1680 мм

далее

• Установки данного типа используются преимущественно в лабораторных исследованиях. С их помощью можно выращивать монокристаллы малого формата и другие материалы по методу Чохральского. Эти установки также позволяют быстро и экономично проверять материалы (например, поликристаллический кремний) на предмет соответствия стандартным требованиям.
• Кристалл: диаметр до 100 мм, длина до 300 мм
• Диаметр тигля до 254 мм
• Котёл: диаметр 590 мм, высота 1000 мм

далее

• При использовании метода Vertical Gradient Freeze (VGF) кристалл выращивается в тигле за счет направленного отверждения за счет вертикальных перепадов температуры. Не уступая по простоте методу Чохральского (Czochralski), этот процесс имеет ряд преимуществ перед ним;

далее

• Установка FZ-14 представляет собой хорошо продуманное оборудование, соответствующее требованиям к выращиванию кристаллов кремния диаметром до 4 дюймов, а также имеющее компактные размеры.

далее

• Установка FZ-14M разработана специально для выполнения аналитических задач. Это установка для выращивания кристаллов кремния с плавающей зоной, разработанная в строгом соответствии с требованиями стандартам ASTM F1723- Установка FZ-14M превращает миниатюрные стержни поликристаллического кремния в монокристаллический кремний для оценки качества и чистоты поликристаллического материала.

далее

• Установка FZ-30 разработана специально для выращивания крупных слитков монокристаллического кремния диаметром 200 мм и длинной 2000 мм. Центр тяжести установки совпадает с зоной расплава. Эффективная система поддержки обеспечивает самовыстраивание и защиту от внешних вибраций. Основная камера оснащена рядом портов для специальных приложений и оборудования.
• Кристалл: диаметр: до 200 мм, длина до 2000 мм
• Скорость вытягивания от 0 до 30 мм / мин
• Электричество: 3AC / PE 400В ± 5%, 50 Гц

далее

• Установка очень эффективна, поскольку одновременно производит два тонких стержня с помощью ВЧ-катушки с двумя отверстиями, подключенной к одному генератору. Установка очень удобна в управлении и обеспечивает возможность ее быстрого перезапуска после выемки готовых тонких стержней. Накал заготовок стержней поддерживается во время выемки. Это возможно благодаря наличию специального клапана, который перекрывает доступ между главной и верхней камерами в ходе процесса. Из одного набора заготовок стержней можно изготовить 12–50 тонких стержней (в зависимости от диаметра заготовки и длины готовых стержней).
• Исходные стержни поликремния: диаметр 25 – 50 мм
• Тонкие стержни: диаметр 7 – 10 мм, длинна до 2500 мм
• Электричество: 3AC / PE 400В ± 5%, 50 Гц

далее