• Автоматическая многокамерная  установка реактивно-ионного травления емкостно-связанной плазмой / индуктивно-связанной плазмой с  шлюзовой загрузкой для производства
• Суммарно до 6 рабочих камер модификаций Vigus, Vesta и RLSA
• Назначение: травление глубоких отверстий, вытравление канавок,  травление оксидов, травление фотошаблонов и диэлектриков (SiO₂, Si₃N₄), BEOL травление диэлектриков, материалов с низкой диэлектрической проницаемостью
• Загрузка: через вакуумные загрузочные шлюзы, использование фтор- и хлорсодержащих газов

далее

• Автоматическая многокамерная  установка реактивно-ионного травления с  шлюзовой загрузкой для производства
• Назначение: травление оксидов, диэлектриков, поликремния
• Процессные камеры: 2 (возможно 3)
• Загрузка в открытых кассетах

далее

• Автоматическая многокамерная  установка реактивно-ионного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
• Назначение: травление SiO₂, Si_xN_y; травление канавок Si, SiC; травление твердых фотошаблонов SiC на SiC пластинах; материалов с низкой диэлектрической проницаемостью; травление поликремниевых затворов; Cu и прочее
• Процессные камеры: до 4
• Загрузка в открытых кассетах или в SMIF-контейнерах

далее

• Автоматическая многокамерная  установка реактивно-ионного травления/травления емкостно-связанной плазмой с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
• Назначение: травление диэлектриков, оксидов; глубокое травление канавок Si
• Процессные камеры: до 4, из анодированного алюминия либо с керамическим покрытием
• Загрузка в FOUP-контейнерах

далее

• Автоматическая многокамерная  установка с  шлюзовой загрузкой для щадящей обработки одиночных пластин в высокоплотной низкотемпературной плазме для серийного производства
• Назначение: нитридирование затворов, восстановительное оксидирование затворов, образование слоя оксида для узкощелевой изоляции, образование слоя нитрида с высокой диэлектрической проницаемостью, дополнительная обработка и повышения качества поверхности при FEOL-технологии и прочее
• Процессные камеры: до 4 (варианты – UVRF, High-K CVD, SPA, LPA)
• Загрузка в FOUP-контейнерах

далее