LAM Research
Lam Research LAM VECTOR Express / Extreme (PECVD)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-VECTOR-Express_Extreme-PECVD-150x200.jpg)
- Автоматическая установка плазмоактивированного химического осаждения из газовой фазы и плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: осаждение оксидов, нитридов, карбидов, не отражающих свет слоев, пассивирующих слоев, диффузионных барьеров, многоуровневых стековых пленок, разделительных пленок при производстве транзисторов, схем памяти, изготовлении межсоединений и пр.
- До 4-х процессных камер (Express); до12-х процессных камер (Extreme)
- Загрузка в FOUP-контейнерах
Lam Research LAM 2300 Versys Kiyo (RIE/TCP/MW)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-2300-Versys-Kiyo-RIE_TCP_MW-150x189.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: травление поликремния, травление металлов, формирование узкощелевой изоляции и пр.
- До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Kiyo, Strip 45, Metal etcher, 2300 MWAVE STRPR
- Загрузка в SMIF-контейнерах
Lam Research LAM 2300 Versys Kiyo 45 (RIE/TCP/MW)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-2300-Versys-Kiyo-45-RIE_TCP_MW-150x200.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: травление поликремния, формирование узкощелевой изоляции, травление металлов (Versys Kiyo 45 Metal) и пр.
- До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Kiyo45 Etch, 2300 Micro Wave Strip, 2300 Kiyo45 Poly Etch, 2300 Versys Kiyo 45 Metal
- Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо в SMIF-контейнерах
Lam Research LAM 2300 Exelan FLEX / FLEX 45 (RIE/TCP)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-2300-Exelan-FLEX-_-FLEX-45-RIE_TCP-150x196.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: в зависимости от используемых процессных камер — травление поликремния, травление диэлектриков (в т.ч. оксидов), травление металлов (Versys Kiyo (Metal)) и пр.
- До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Exelan Flex 45, 2300 Exelan Flex, Versys Kiyo (Metal), Exelan Flex DD, Flex Е
- Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо в SMIF-контейнерах
Lam Research LAM 2300 Versys Metal (RIE/TCP/MW)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-2300-Versys-Metal-RIE_TCP_MW-150x139.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: BEOL травление металлов; изготовление твердых металлических TiN фотошаблонов, формирование токопроводящих слоев из высокопротного алюминия, формирование алюминиевых столбиковых выводов и контактных площадок, травление меди и пр.
- До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Versys Metal Etch, Micro Wave Stripper, Ash/Strip и др.
- Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах
Lam Research LAM 2300 Versys Poly / Star T (RIE/TCP/MW)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-2300-Versys-Poly-_-Star-T-RIE_TCP_MW-150x200.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: травление поликремния, травление диэлектриков
- До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Versys Silicon, 2300 Versys Star Т, Flex, Micro Wave Stripper, Versys Si Star, 2300 Versys Star Poly Etch
- Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо загрузка в в открытых кассетах
Lam Research LAM 2300 Syndion TSV (RIE/TCP)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-2300-Syndion-TSV-RIE_TCP-150x115.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: сквозное травление поликремния для изготовления микросхем с трехмерной топологией; при добавлении соответствующих процессных камер возможны травление диэлектриков и проводящих материалов
- До 4-х процессных камер 2300 Syndion
- Три кассетные загрузочные станции
Lam Research LAM TCP 9400 SE(RIE/TCP)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-TCP-9400-SE-RIE_TCP-150x200.jpg)
- Автоматическая установка реактивно-ионного травления/травления трансформированно-связанной плазмой с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: травление поликремния, а также травление Si, SixNy, SiO2, полимеров, химически активных металлов
- Процессная камера: из анодированного алюминия, температура стенок — 50°С; до 4
- Загрузка в SMIF-контейнерах
Lam Research LAM Alliance A4 TCP 9400 DFM (ICP/CCP/MW)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-Alliance-A4-TCP-9400-DFM-ICP_CCP_MW-150x201.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: камера 4520XL — травление диэлектриков (оксиды, нитриды), камера 9400DFM – травление поликремния и металлов (W, Al)
- Процессная камера: до 4
- Конфигурации процессных камер: 9400DFM; 4520XL
Lam Research LAM Alliance A6 TCP 9400 DFM (RIE/TCP)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-Alliance-A6-TCP-9400-DFM-RIE_TCP-150x226.jpg)
- Автоматическая установка реактивно-ионного травления/травления трансформированно-связанной плазмой с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: травление поликремния, травление металлов, озоление
- Процессная камера: до 4
- Загрузка в открытых кассетах
Lam Research LAM Alliance A6 Exelan HPT (RIE/TCP)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-Alliance-A6-Exelan-HPT-RIE_TCP-150x204.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: травление оксидов, диэлектриков
- Процессная камера: до 4
- Загрузка в в открытых кассетах
Lam Research LAM Alliance A6 9400 PTX (RIE/TCP)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-Alliance-A6-9400-PTX-RIE_TCP-150x134.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: травление канавок в кремнии, травление поликремния
- Процессная камера: до 4
- Загрузка в в открытых кассетах
Lam Research LAM Alliance A6 9600 PTX (RIE/TCP/MW)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-Alliance-A6-9600-PTX-RIE_TCP_MW-150x200.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: травление металла (алюминий), зачистка металла
- Процессная камера: до 4
- Загрузка в в открытых кассетах
Lam Research LAM Alliance A6 9600 DFM (RIE/TCP/MW)
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2019/06/Lam-Research-LAM-Alliance-A6-9600-DFM-RIE_TCP_MW-150x160.jpg)
- Автоматическая установка плазменного травления с шлюзовой загрузкой для серийного производства
- Назначение: травление металла
- Процессная камера: до 4
- Загрузка в в открытых кассетах