AP&S – Wet processor manual- Установка ручной химической обработки

  • Установка ручной химобработки для полупроводникового производства, МЭМС, солнечных элементов
  • Загрузка: по потребности заказчика. Пластины 6”; 8”; опция 12”
  • Применение: очистка, вскрытие, промывка, сушка.
  • Возможность работы со стандартными процессами, таким как SC1, SC2, HF (во всех концентрациях), HF, DSP, KOH и др.
  • Отдельные шкафчики предварительного смешивания химических реактивов, перчаточная установка очистки, вакуумная пипетка, пистолет-распылитель азота и деионизованной воды, вертикальное перемещение партий, вращение пластин, нагревательная плита, устройство для нанесения покрытий центрифугированием, горизонтальный очиститель труб, удобное перемещение партий, микроклимат.
  • Опции: возможность рециркуляции, ультразвук 730 / 1000 КГц (возможны другие частоты), промывочный бак (опция перелива), погрузочно-разгрузочная система, взрывозащищенное исполнение, корпус из нержавеющей стали.
  • Возможный вариант исполнения: Вытяжной шкаф для работы с химическими растворами
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.