AP&S – VulCanio- Линия жидкостной химической обработки

  • Полностью автоматизированная система химического осаждения металлов для полупроводникового производства
  • Применение: Жидкостная технологическая система для процессов осаждения металлов (Under Bumping Metallisation), например между алюминиевой или медной площадкой и припойным шариком выводов кристаллов ИМС (Ni, Pd, Au). Технология UBM необходима для создания структур с шариковыми соединениями и она также позволяет создавать структуры для шариков и на ИМС, созданных для разварки.
  • Безэлектролитный UBM для площадок Al и Cu (Ni, Pd, Au)
  • Загрузка: 1 x 13 пластин 12”; 1 x 26 пластин 12”; 1 x 25 или 1 x 50 пластин 8”; 1 x 25 или 1 x 50 пластин 6”; 1 x 25 или 1 x 50 пластин 4”;
  • Производительность: до 300 пл/ч;
  • Стандартная кассета с высоким или низким профилем
  • Загрузка и выгрузка с помощью тележки, специально предназначенной для транспортировки кассет
  • Профилактическая промывка
  • Два разных захвата, один для предварительной обработки и другой для процесса нанесения покрытия
  • Отдельные выхлопные системы для безопасного и эффективного удаления паров, создаваемых основаниями, кислотами, PH-нейтральными соединениями и цианидами
  • Сушка пластин IPA
  • Автоматическая система безопасности
  • Планировщик
  • Перемещение пластин
  • Детектор цианида и защита для безопасности оператора
  • Встроенные химические резервуары
  • Автоматическая очистка системы для каждого шага технологического процесса, с помощью регулируемой температурной функции
  • Легкая непроницаемая система
  • Подходит для использования в чистых помещениях или зонах класса ИСО 7
  • Автоматическое дозирование химикатов: Как требуется для соответствующего процесса и партии, ручная регулировка в соответствии с продуктом
  • Графический интерфейс пользователя:

– На основе процессоров B & R и IPC Windows

– Редактор рецептов

– Цифровые блок-схемы в реальном времени

– Автоматическая генерация диагностических файлов (EOR, ERR, Log, ChemLog и т. д.)

– Многоуровневый пароль

  • Возможности управления процессом:

– Отслеживание партии на протяжении всего процесса

– Отслеживание параметров, включая температуру, расход, удельное сопротивление

– Система регулирования концентрации

  • Встроенная система безопасности
  • Номинальное напряжение: 3 x 400 VAC
  • Номинальная частота: 50 Гц
  • Номинальный ток: 3 x 100 A
  • Доступные варианты опций:

– Считыватель идентификаторов пластин

  • ИБП Габаритные размеры (Ш х Г х В): Переменная x 2150 x 3050 мм
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.