Ultratech NanoTech 190

  • Степпер для малоразмерных тонкопленочных головок
  • Установка проекционной литографии для малоразмерных тонкопленочных головок
  • Новая конструкция держателя для улучшения точности и воспроизводимости
  • Применяется технология визуального контроля
  • Возможны 2 варианта разрешения линз: 1,0 мкм и 2,0 мкм

к списку