Ultratech Prisma-ghi

  • Установка (Степпер) проекционной литографии на базе Star 100 для исследований в областях нанотехнологий, МНЭМС и бампинг-технологий 
  • 1X литография
  • Возможность экспозиции резистов i-, gh- и ghi- линиями спектра
  • Дополнительные светофильтры позволяют выбирать длину волны
  • Возможность обработки 100, 125, или 150 мм пластин, с временем перестройки менее 30 минут

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.