Ultratech LSA201

  • Установка лазерной литографии
  • Полное управление средой в сканирующей лазерной системе.
  • Длинноволновый лазер, угол полной поляризации, p-поляризованный свет обеспчивают оптимальную однородность матрицы
  • Замкнутый контроль температуры с обратной связью для поддержания контроля температуры
  • Ориентирована для обработки как планарных, так и FinFET устройств
  • Локализация области напряженности с гибким временем выдержки обеспечивает аккуратную обработку и уменьшает вероятность поломки пластин

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.