Tystar TYTAN Mini Series

Мини-печи Tytan предназначены для диффузии, окисления и применения LPCVD. Системы требуют значительно меньше площади и электроэнергии, чем обычные печи такой же мощности. Серия Mini хорошо зарекомендовала себя как надежный технологический инструмент как в полупроводниковой промышленности, так и в научно-исследовательском сообществе. Они обеспечивают превосходную производительность и однородность процесса. Дизайн включает в себя несколько самых передовых концепций, необходимых для высокопроизводительных инструментов обработки пластин.

  • Компактный дизайн при возможности загрузке от 50 до 100 пластин
  • Очень высокая повторяемость процессов
  • Большое количество установленных систем
  • Специальная линия сервисной поддержки
  • Поддержка пластин до 150мм
  • Энергоэффективность до 50%

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.