AP&S — TwinStep — Установка жидкостной химической обработки

  • Полуавтоматическое рабочее место химической обработки для полупроводникового производства
  • Загрузка: до 50 пластин 12” (опция 6”; 8”)
  • Производительность: до 300 пластин / час
  • Применение: очистка, травление
  • 10,4″ сенсорная панель управления с удобным пользовательским интерфейсом
  • Автоматизированный и безопасный ввод/вывод данных
  • Подключение к системе вытяжной вентиляции в верхней части
  • Встроенная система безопасности
  • Программное обеспечение включает несколько рецептов
  • Подключение Ethernet для ноутбука. Дистанционное управление через интернет
  • Доступные варианты опций:
    — Система очистки сточных вод
    — Установленные локально химические шкафы для разбавления, перемешивания и подогрева химических растворов — Система подогрева деионизованной воды
    — Чистая мини-зона
    — Система мониторинга концентрации
    — Устройство фильтрации деионизованной воды
    — Система пожаротушения при использовании растворителей
  • ИБП Габаритные размеры (Ш х Г х В): 900 x 1625 x 2000 мм