AP&S – TwinStep – Установка жидкостной химической обработки

  • Полуавтоматическое рабочее место химической обработки для полупроводникового производства
  • Загрузка: до 50 пластин 12” (опция 6”; 8”)
  • Производительность: до 300 пластин / час
  • Применение: очистка, травление
  • 10,4″ сенсорная панель управления с удобным пользовательским интерфейсом
  • Автоматизированный и безопасный ввод/вывод данных
  • Подключение к системе вытяжной вентиляции в верхней части
  • Встроенная система безопасности
  • Программное обеспечение включает несколько рецептов
  • Подключение Ethernet для ноутбука. Дистанционное управление через интернет
  • Доступные варианты опций:
    – Система очистки сточных вод
    – Установленные локально химические шкафы для разбавления, перемешивания и подогрева химических растворов – Система подогрева деионизованной воды
    – Чистая мини-зона
    – Система мониторинга концентрации
    – Устройство фильтрации деионизованной воды
    – Система пожаротушения при использовании растворителей
  • ИБП Габаритные размеры (Ш х Г х В): 900 x 1625 x 2000 мм

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.