Trion Technology Sirus T2 Table Top (RIE)

  • Настольная автоматическая установка реактивно-ионного травления фторсодержащими газами для НИОКР и опытного производства
  • Назначение: производство МЭМС, твердотельных излучателей; анализ отказов ИС;  травление диэлектриков  (SiOх, SiNу, SiOxNу), кремния (Si), соединений кремния (SiC), кварца, металлов (Ta, W, Ir, Mo, Nb), соединений металлов (TaN, TiW, TiN, InSb), полимеров (полиимид, фоторезисты, эпоксидные компаунды), графит (С)
  • Ручная система загрузки
  • Пластины:до ø200мм
  • Источник плазмы: RIE – 600Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Нижний электрод: ø200мм, без прижима пластины
  • Газовая система: до 4 газовых линий с РРГ (2 – стандартно, 2 – опционно), продувочный азот
  • Применяемые газы: O2, Ar, CHF3, CF4, SF6, N2 и прочие
  • Вакуумная система: турбомолекулярный насос 170 л/с и форвакуумный, с масляным фильтром, насос 660 л/мин
  • Система управления: компьютерная, с сенсорным экраном; система аварийного отключения; автоматическая система управления давлением
  • Чиллер или оборотная пода для системы охлаждения
  • Габариты: реакторный блок – (734x755x400) мм, масляный насос – (216x686x343) мм, масляный фильтр – (160x414x407) мм, чиллер – (318x483x559) мм
  • Опционно: температурный контроллер рециркуляционного контура; 2 дополнительные газовые линии с РРГ  

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.